低溫等離子凈化器在廢氣處理中的應用隨著工業的發展逐漸的增多，工業生產中產生出的廢氣在大氣中停留的時間很長，同時還會擴散漂移到其他的地方，終造成環境的污染，平時在生活中，如果人體吸入這些廢氣，就會對人體健康造成很大的危害。傳統的廢氣處理方法會受到很多條件的限制，但是使用低溫等離子進行廢氣處理受到的限制就會相對少很多，同時它還具有很多潛在的優勢。
 
低溫等離子凈化器內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
 
低溫等離子凈化器去除污染物的機理：
 
低溫等離子凈化器化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
 
(1)電場＋電子→高能電子；
 
(2)高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團；
 
(3)活性基團＋分子(原子)→生成物+熱；
 
(4)活性基團＋活性基團→生成物+熱。
 
從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
 
低溫等離子凈化器的凈化方法：
 
低溫等離子凈化器在進行工作的時候，它主要采用到了獨特的吸附、分解、碳化的方式，離心式抽風機的安裝和工藝技術的應用讓等離子凈化器具有著更多的優點，它也是一種干法處理廢氣的設備。等離子凈化器在工業中的應用改變了活性炭材料的工藝和技術，在使用的時候更換維護都會更加的方便一些。
 
低溫等離子是一種聚集態物質，它不同于我們所認識的固體、液體、氣體，它是物質的第四種形態，在運行過程中當外加電壓達到了氣體放電的電壓的時候，氣體就會被擊穿，這時就會產生出各種離子和原子在內的混合體，雖然在放電過程中電子的溫度非常高，但是重粒子的溫度卻是很低的，這時整個體系都會呈現出低溫的狀態，因此它也就被稱之為是低溫等離子體了。